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FSM薄膜应力及基底翘曲测试设备和厚度测量设备

 用于测量薄膜应力，基地翘曲，衬底翘曲，膜层厚度测量

产品名称：FSM 128 薄膜应力及基底翘曲测试设备

产品型号：FSM 128， 500TC, 900TC

1. 简单介绍

FSM 128 薄膜应力及基底翘曲测试设备:美国Frontier Semiconductor(FSM)成立于1988年，总部位于圣何塞，多年来为半导体行业等高新行业提供各式精密的测量设备，客户遍布*, 主要产品包括:光学测量设备: 三维轮廓仪、拉曼光谱、 薄膜应力测量设备、 红外干涉厚度测量设备、电学测量设备:高温四探针测量设备、非接触式片电阻及 漏电流测量设备、金属污染分析、等效氧化层厚度分析 (EOT)

2.产品简介：

FSM128 薄膜应力及基底翘曲测试设备

在衬底镀上不同的薄膜后, 因为两者材质不一样，以及不同的材料不同温度下特性不一样, 所以会引起应力。 如应力太大会引起薄膜脱落, zui终引致组件失效或可靠性不佳的问题。 薄膜应力激光测量仪利用激光测量样本的形貌,透过比较镀膜前后衬底曲率半径的变化, 以Stoney’s Equation计算出应力, 是品检及改进工艺的有效手段。

1. 快速、非接触式测量
2. 128型号适用于3至8寸晶圆

128L型号适用于12寸晶圆

128G 型号适用于470 X 370mm样品，

另可按要求订做不同尺寸的样品台 

1. 双激光自动转换技术

如某一波长激光在样本反射度不足，系统会自动使用

另一波长激光进行扫瞄，满足不同材料的应用

1. 全自动平台，可以进行2D及3D扫瞄（可选)
2. 可加入更多功能满足研发的需求

电介质厚度测量

光致发光激振光谱分析

（III-V族的缺陷研究）

1. 500 及 900°C高温型号可选
2. 样品上有图案亦适用

3.规格:

1. 测量方式: 非接触式(激光扫瞄)
2. 样本尺寸: 

FSM 128NT: 75 mm to 200 mm

FSM 128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm

FSM 128G: zui大550×650 mm

1. 扫瞄方式: 高精度单次扫瞄、2D/ 3D扫瞄(可选)
2. 激光强度: 根据样本反射度自动调节
3. 激光波长:  650nm及780nm自动切换(其它波长可选)
4. 薄膜应力范围: 1 MPa — 4 GPa

(硅片翘曲或弯曲度变化大于1 micron)

1. 重复性: 1% (1 sigma)*
2. 准确度: ≤ 2.5%

使用20米半径球面镜

1. 设备尺寸及重量:

FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 50 lbs

FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 70 lbs

FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 200 lbs

电源 : 110V/220V, 20A

FSM413 红外干涉测量设备

如果您对该产品感兴趣的话，可以给我留言！

产品名称：FSM 413 红外干涉测量设备

产品型号：FSM 413EC, FSM 413MOT，FSM 413SA DP FSM 413C2C, FSM 8108 VITE C2C

1、产品简介：

FSM 413 红外干涉测量设备

1. 红外干涉测量技术, 非接触式测量
2. 适用于所有可让红外线通过的材料

硅、蓝宝石、砷化镓、磷化铟、碳化硅、玻璃、石  英、聚合物…

2、应用薄膜应力及基底翘曲测试设备和厚度测量设备：

    衬底厚度(不受图案硅片、有胶带、凹凸或者粘合硅片影响)

    平整度

    厚度变化 (TTV)

    沟槽深度

    过孔尺寸、深度、侧壁角度

    粗糙度

    薄膜厚度

    环氧树脂厚度

    衬底翘曲度

    晶圆凸点高度(bump height)

    MEMS 薄膜测量

    TSV 深度、侧壁角度…

1. 规格:

1. 测量方式: 红外干涉(非接触式)
2. 样本尺寸:  50、75、100、200、300 mm， 也可以订做客户需要的产品尺寸
3. 测量厚度: 15 — 780 μm (单探头)

          3 mm (双探头总厚度测量)

1. 扫瞄方式: 半自动及全自动型号,

         另2D/3D扫瞄(Mapping)可选

1. 衬底厚度测量: TTV、平均值、*小值、*大值、公差。。。
2. 粗糙度: 20 — 1000Å (RMS)
3. 重复性: 0.1 μm (1 sigma)单探头*

       0.8 μm (1 sigma)双探头*

1. 分辨率: 10 nm
2. 设备尺寸:

413-200: 26”(W) x 38” (D) x 56” (H)

413-300: 32”(W) x 46” (D) x 66” (H) 

1. 重量: 500 lbs
2. 电源 : 110V/220VAC     
3. 真空: 100 mm Hg
4. 样本表面光滑（一般粗糙度小于0.1μm RMS)