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干式真空泵
LS系列
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LulvacLS系列爱发科真空泵维修维修S120
一种干式真空泵，可实现高速排气和低功耗。四种型号的产品阵容使您可以根据设备的尺寸和工作条件选择具有排量的泵。

使用方法
■高速排气
●接近大气压的高排气速度减少了排气时间
■低功耗
●通过ECO-SHOCK技术（C规格）实现低功耗●
极限压力下的功耗为0.6kW或更低（LS120A-C）
■低噪声
配备的消音器●标准
在●终压力时的噪声值是61分贝的（a）以下
■运行成本降低
了传统上需要●轴封气体是不必要
※大号规范能够流动吹扫气体可能
■所有4种型号的产品阵容
●排气速度为120至1200m3 / h级*与机械增压泵组合
●可以根据应用选择具有佳排气量的型号
规格书
可以根据应用选择2种类型的
C规格：清洁工艺（LS *** AC）
功能：内置ECO-SHOCK的低功耗类型
应用：
溅射/沉积/粘接/装载清洁排气（如排气和N2排气）锁室/ TMP辅助等
。L规格：轻型工艺（LS *** AL）
特征：具有表面处理和吹扫功能的轻型工艺
应用：
真空干燥/冷冻干燥/灰化，用于轻型工艺，例如水蒸气和挥发性化学液体废气/一般工业用途等

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干泵是在真空室内不使用油或液体的真空泵，因此可以获得干净的真空?？稍诖哟笃沟郊扪沽Φ墓惴悍段谑褂?。

干式真空泵LS系列
LS120
一种干式真空泵，可实现高速排气和低功耗。四种型号的产品阵容使您可以根据设备的尺寸和工作条件选择具有佳排量的泵。

干式真空泵CR系列Ver.B
CR
干式真空泵CR系列VerB是获得标准（CE，cTUVus）的风冷罗茨型干式真空泵。排气室内不使用油，并且转子和气缸以非接触方式运行，因此可以长时间稳定运行。

干式真空泵GR系列
GR90
干式真空泵GR系列基于成熟可靠的LR / HR系列，为一般行业设计了简单的结构。

干式真空泵LR / HR / UR系列
LR180
干式真空泵LR / HR / UR系列通过使用我们*的高温浸泡技术有效地利用压缩热，从而在CVD和蚀刻等坚硬工艺中实现了高耐久性。在轻型过程中，与ECO-SHOCK结合使用，可以将功耗降低约80％。所有型号均兼容CE（可选），以提高可维护性并降低噪音。有关ECO-SHOCK的更多信息，请参阅“相关信息”。