FPD检查显微镜的设计理念是为客户提供高的操作效率。MX显微镜为用户确保了四个等级的优势：快速入门、简易操作、失败分析和扩展功能。

FPD检查显微镜

MX51
MX51而工业检查显微镜是一款高性价比的显微镜，适用于各种电子元件、晶圆和大型样本的观察需求。
·适合150mm晶片、液晶面板等检测的电动机型（反射透射兼用）
·从明场到荧光观察法，满足不同样品的测量需求
·结合优异的扩展功能，可以满足不同样品的测量需求，实现了优异的性价比
·备有150mm和100mm两种载物台
·可以进行明场、暗场、微分 干涉和简易偏光观察

MX-IR／BX-IR 
MX-IR／BX-IR是像透过玻璃似的可透视红外线显微镜。适用于封装芯片、晶圆级CSP／SIP的非破坏检查。
·可以观察IC内部的近红外显微镜机型（反透射）
·搭载了从可见光到近红外进行像差修正的IR观察物镜，以及数码增强系统，可以很容易观察IC内部
·可以非破坏性观察半导体设备内部
·可以进行明场、近红外线观察

MX61A
MX61A是一款专门设计的半导体显微镜，可使操作人员以正确的人体工程学姿势进行操作，有利于操作人员在长时间的工作中顺利进行检测，保证了工作的效率和产品一体化。
·适合300mm晶片检查的电动机型（反射）
·通过软件控制内外部设备的显微镜系统
·通过电动控制，不受样品或操作员等各种条件的影像，实现检查环境
·适合明场、暗场、微分干涉和简易偏光观察
·可以搭载与设备相适应的自动调焦机构

MX61L／MX61
MX61L,300mm晶片、液晶面板灯检测的电动机型——明视场法、暗视场法、微分干涉法（DIC）、荧光法、红外线法和深紫外线法，保证了的图像分辨率和鲜明度。
·适合300mm晶片、液晶面板等检测的电动机型（反射投射兼用）
·从明场到荧光观察法，满足不同样品的需求
·可与物镜的切换连动，自动调节光圈等，实现了舒适的检查环境
·搭载了14*12英寸载物台，可以适用于大尺寸样品的检测
·可以进行明场、暗场、微分干涉和简易偏光观察
MX61，200mm半导体检查显微镜通过各种观察方法——明视场法、暗视场法、微分干涉法（DIC）、荧光法、红外线法和深紫外线法，保证了的图像分辨率和鲜明度。
·适合200mm晶片、液晶面板等检测的电动机型（反射投射）
·从明场到荧光观察法，满足不同样品的测量需求
·可与物镜的切换连动，自动调节光圈等，实现了舒适的检查环境
·可以进行明场、暗场、微分干涉和简易偏光观察

AL120／AL120-12
AL120晶圆搬送机可以对应200mm以下晶圆尺寸的硅、化合物晶圆，可以安全高效搬送薄片晶圆，非常适合于前道到后道的晶圆检查。
·备有与200mm以下型 、200mm／150mm兼用型、150mm类型（适合150mm以下晶片检查）
AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOSB,适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时（包薄晶圆和变形晶圆）的效率和安全。
为提高300mm晶片的成品效率和生产效率做出贡献的手动搬运装置
·实现了不影响晶圆（薄晶圆、反转晶圆）搬运条件等工作，为后续的工序检查提供高可靠性和安全性