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化工仪器网>产品展厅>半导体行业专用仪器>热工艺设备/热处理设备>退火炉>Solaris Eclipse 快速退火炉系统SS

Solaris Eclipse 快速退火炉系统SS

具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称 迈可诺技术有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型号 Solaris Eclipse
  • 产地
  • 厂商性质 代理商
  • 更新时间 2025/7/1 20:34:03
  • 访问次数 1813

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半导体化工领域专业实验设备供应商:迈可诺是一家富有创新精神的高科技公司,专业提供光电半导体化工实验室所需设备耗材的全套解决方案提供商,迈可诺从事开发、设计、生产并营销质量可靠的、安全易用的技术产品及优质专业的服务,帮助我们的客户和合作伙伴取得成功。我们成功的基础是帮助客户做出更好的选择和决定,尊重他们的决定,并协助他们实现高效率的科研成果,追求丰富有意义的生活。




匀胶机,光刻机,显影机,等离子清洗机,紫外臭氧清洗机,紫外固化箱,压片机,等离子去胶机,刻蚀机,加热板

应用领域 电子/电池

 

美国RTP系列的快速退火炉温度均匀度≤1%,处理的大尺寸可以达到200mm,温度可以达到1200摄氏度,处理过程可以在真空环境或者惰性气体的环境中执行,做多可支持4~6路进气,可以用到的气体包含N2,O2,N2H2,ArH2。

- 处理时间:0.1秒至无*;

- 灯管数量及功率:13支,

- 腔体冷却:风冷方式;

- 衬底冷却:氮气吹扫;

- 工艺气路:MFC控制,多6 (氮气、氩气、氧气、氢氮混合气等)

应用领域:

快速热退火 (Rapid Thermal Annealing,RTA);

快速热氧化 (Rapid Thermal Oxidation,RTO);

快速热氮化 (Rapid Thermal Nitridation,RTN);

硅化 (Silicidation);

扩散 (Diffusion);

化合物半导体退火 (Compound Semiconductor Annealing);

离子注入后退火 (Implant Annealing);

电极合金化 (Contact Alloying);

晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);

 

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氧化扩散设备


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