AIETC紫外线UV照射器MUVBA-0.4x0.6x0.2

AIETC紫外线UV照射器

AITEC艾泰克晶圆紫外线辐照器MUVBA-0.4x0.6x0.2 产品说明：
1、它是在用于半导体制造晶片加工（切割和背面研磨）工艺的紫外线固化型膜上照射紫外（UV）光的装置。（UV膜固化装置）
2、用于晶片的切割带的固化应用。
3、每个波长可更换的辐射器。
4、适用于小批量生产应用。
5、采用氮取代（N 2吹扫）机制减少了UV固化过程中的氧气抑制。
AITEC艾泰克晶圆紫外线辐照器MUVBA-0.4x0.6x0.2 产品特点：
1、用氮气（N 2预吹扫）机制（UV膜固化装置）代替。
2、6英寸，8英寸晶圆兼容。
3、可生产12英寸晶圆。
4、辐照器可交换（365,385,395,405 nm等）。
5、可调光范围为0至100％。
AITEC艾泰克晶圆紫外线辐照器MUVBA-0.4x0.6x0.2 产品参数：