便携式膜厚仪主要由以下系统组成：

Α白炽-LED混合集成式光源系统，通过内嵌式微处理器控制，使用寿命超过20000小时。

小型光谱仪，光谱范围370nm –1050nm,分辨精度可达3648像素， 16位级 A/D 分辨精度；配有USB通讯接口；

Β) FR-Monitor膜厚测试软件系统，

可精确计算如下参数：

1）单一或堆积膜层的厚度；

2）静态或动态模式下，单一膜层的折射率；本软件包含了类型丰富的材料折射率数据库，可以有效地协助用户进行线下或者在线测试分析。本系统可支持吸收率，透射率和反射率的测量，还提供任何堆积膜层的理论性反射光谱，一次使用授权，即可安装在任何其他电脑上作膜厚测试后的结果分析使用。

C) 参考样片：

a) 经校准过的反射标准硅片；

b) 经校准过的带有SiO₂/Si 特征区域的样片；

c) 经校准过的带有Si₃N₄/SiO₂/Si特征区域的样片；

D) 反射探针台和样片夹具

可处理大的样品尺寸达200mm, 包含不规则的尺寸等；

手动调节可测量高度可达50mm；

可针对更大尺寸订制样片夹具；

Ε) 反射率测量的光学探针

内嵌系统6组透射光探针200μm, 1组反射光探针200μm；

F) 附件

FR-portable透射率测量套件；