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Joule Yacht 快速退火炉 LRTP

具体成交价以合同协议为准

联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!


    武汉嘉仪通科技有限公司是*家以薄膜物性检测作为战略定位,高科技企业。公司集研发、市场和技术服务于一体,相继被评为湖北省“百人计划”及武汉市政府“城市合伙人”企业。公司成立于2009年,总部位于中国光谷,专注于薄膜材料物理性能分析与检测仪器的自主研发, 并致力于为客户提供薄膜材料的热、电、磁、力、光、声等性能测试分析整体解决方案。

    嘉仪通科技始终坚持自主研发与技术创新,拥有技术工程师研发团队,公司总部建有省级工程实验室,并在国内外建立了办事处以及联合实验室共享中心,包括中国的北京、上海、成都以及海外的美国硅谷、英国伦敦和印度新德里等地。未来几年,化的营销体系及客户服务网络将全面建成。

    目前,公司拥有自主研发和核心知识产权的产品体系,包括光功率热分析仪、相变温度分析仪、热电参数测试系统、薄膜热导率测试系统、霍尔效应测试系统、红外退火炉、液氮低温恒温器等序列产品,广泛应用于材料企业、大专院校、科研院所、航空航天、*以及第三方检测机构等材料领域。同时,公司依托省工程实验室及联合实验室等共享平台的大数据分析,为用户的薄膜材料研究及战略方向提供理论依据与数据支撑。

    嘉仪通科技秉承技术创新、应用为上的价值理念,遵循“聚众之智,穷理致用”的原则,踏实做好每一款产品的创新研发,孜孜不倦的为广大客户提供Z合适的产品与较好的服务!

红外退火炉,液氮低温恒温器,相变温度分析仪,热膨胀系数分析仪,热电参数测试系统,薄膜热电参数测试系统,薄膜热导率测试系统,霍尔效应测试系统,薄膜变温电阻测试系统

Joule Yacht 快速退火炉 LRTP 应用案例

快速热处理,快速退火,快速热氧化,快速热氮化

离子注入/接触退火

SiAu, SiAl, SiMo合金化

太阳能电池片键合

电阻烧结

低介电材料热处理

晶体化,致密化

其他热工艺需求

 

 

Joule Yacht 快速退火炉 LRTP 产品特点

可测大尺寸样品  可测单晶片样品的最大尺寸为4英寸(100mm)。

快速控温与高真空  最高升温速率可达100℃/s,真空度最高可达到10Pa。

程序设定与气路扩展   最多可创建和存储32个程序、8PID设定,实现不同温度段的精确测试。最多可扩展至4条工艺气路(MFC),应用不同气氛环境(真空、氮气、氩气、氧气、氢氮混合气体等)。

全自动智能控制  采用全自动智能控制,包括温度、时间、气体流量、真空、气氛、冷却水等均可实现自动控制。

超高安全系数   采用炉门安全温度开启?;ぁ⑽驴仄骺羧ㄏ薇;ひ约吧璞讣蓖0踩;と匕踩胧?,*保障仪器使用安全。

 

快速退火炉技术参数

型号

LRTP-1200

最高温度

1200℃

最高升温速率

100℃/s

较快降温速度

200℃/min(1000℃-->400℃)

控温精度

≤0.1℃

温场均匀性

≤0.5%

腔体冷却

水冷方式,独立冷却源

衬底冷却

氮气吹扫

工艺气路

MFC控制,最多4路(可选氮气、氩气、氧气、氢氮混合气等)

主机尺寸

450×625×535,单位mm

 

相关分类

氧化扩散设备


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