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日立分析仪器(上海)有限公司

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Nicolet ECO 2000 FT-IR Metrology Tool

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服务科学,*--赛默飞世尔科技

赛默飞世尔科技(纽约证交所代码: TMO)是科学服务领域的世界*。我们的使命是帮助客户使世界更健康、更清洁、更安全。公司年销售额130亿美元,员工约39000人。主要客户类型包括:医药和生物技术公司、医院和临床诊断实验室、大学、科研院所和政府机构,以及环境与过程控制行业。借助于Thermo Scientific、Fisher Scientific和Unity™ Lab Services三个首要品牌,我们将创新技术、便捷采购方案和实验室运营管理的整体解决方案相结合,为客户、股东和员工创造价值。我们的产品和服务帮助客户解决在分析领域所遇到的复杂问题与挑战,促进医疗诊断发展、提高实验室生产力。欲了解更多信息,请浏览公司网站:www.thermofisher.com。

赛默飞世尔科技中国

赛默飞世尔科技进入中国发展已有30多年,在中国的总部设于上海,并在北京、广州、香港、中国台湾、成都、沈阳、西安、南京、武汉等地设立了分公司,员工人数超过2300名。我们的产品主要包括分析仪器、实验室设备、试剂、耗材和软件等,提供实验室综合解决方案,为各行各业的客户服务。为了满足中国市场的需求,现有5家工厂分别在上海、北京和苏州运营。我们在北京和上海共设立了5个应用开发中心,将*的前沿技术和产品带给国内客户,并提供应用开发与培训等多项服务;位于上海的中国技术中心结合国内市场的需求和*进技术,研发适合中国的技术和产品;我们拥有遍布全国的维修服务网点和特别成立的维修服务中心,在全国有超过400 名经过培训认证的、具有专业资格的工程师提供售后服务。我们致力于帮助客户使世界更健康、更清洁、更安全。欲了解更多信息,请登录www.thermofisher.cn。

欲了解更多信息,请登陆我们的网站:
www.thermofisher.cn(中国); www.thermofisher.com()

公司电子邮箱:analyze.cn@thermofisher.com

色谱,质谱,原子吸收光谱仪;离子体发射光谱仪;离子体质谱仪;直流电弧光谱仪;辉光放电质谱仪;X射线荧光光谱仪;X射线衍射仪;紫外可见分光光度计;大型直读光谱仪;直读光谱仪;总氮分析仪;总硫分析仪;总氯分析仪;总有机碳分析仪;气相色谱;液相色谱;气相色谱质谱联用;液相色谱质谱联用;组合式质谱;色谱柱及耗材;傅立叶红外光谱;拉曼光谱;近红外分析仪;thermo

Nicolet ECO 2000 FT-IR Metrology Tool


Designed for 200 mm SMIF carriers or manual loading of 100 mm to 200 mm wafers, the NicoletTM ECOTM 2000 measures dopant concentration levels in dielectric films (BPSG, PSG, FSG, etc.), hydrogen levels in silicon nitride films, epitaxial film thickness, MEMS device thickness, and substitutional carbon and interstitial oxygen levels in silicon wafers.
   Product Detail


Some of the highlights of the ECO 2000 include:
  • Compley automated wafer handling
  • Automated wafer centering and alignment using flats or notches
  • High throughput
  • Exceptionally stable and reproducible measurement results
  • Wafer contact using Teflon-coated vacuum holds on the backside only
  • Capable of measuring epitaxial film thickness from 300 nm to 7,500 nm
  • Powerful FT-IR software toolkit for custom recipe generation
  • SECS/GEM communications software
  • Compliant with SEMI S2 and S8 safety and ergonomic standards
  • Flexible measurement options from single point measurements to complete wafer mapping options
  • Transmission and reflectance measurement capability to accommodate the widest range of materials and films
  • Support of both ASTM and JEIDA standards
  • Class 2 cleanroom ready

The ECO 2000 maintains the proven low cost of ownership and high reliability of our long-running series of ECO tools. Founded on our base of expertise in FT-IR technology, the ECO 2000 is also at the top of its class in performance. Thermo is committed to offering the most expertise and the best possible tools for FT-IR metrology. The ECO 2000 is another affirmation of this commitment.

 

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