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MEMS VOC气体传感器利用MEMS工艺的Si基微热板和在洁净空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料组成。当传感器所处存在气体环境中时，传感器的电导率随空气中被检测气体的浓度而发生改变。该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。

检测气体种类

乙醇（C2H5OH）： 10– 500ppm

氢气（H2)：1-1000ppm

甲醛（CH2O)：10-100ppm

传感器特点

低功耗

高灵敏度

结构坚固

MEMS工艺

简单的驱动电路

快速的响应恢复特性

主要应用

适用于室内空气质量监测 、手机电脑等消费类子产品应用检测空气质量也适用于呼出气体检 测仪、室内烟雾报警等。

技术指标

注：1. R₀ 是在环境温度23±5℃，环境湿度50±10%RH的标准工作条件下测得；
2. S₅₀ 即Rs(50ppm C2H5OH)/R₀(in air)是在环境温度23±5℃，环境湿度50±10%RH的条件下，传感器在50ppm C2H5OH气氛中的电阻值与传感器在洁净空气中的电阻值的比值。