高纯气体控制系统集中供气系统作为气体储存、调压、输送及供应具有以下几个优点：一是集中供气系统将气源（钢瓶）集中在气瓶储存间，采用管路系统将气送到所需的工作地点，再将供气终端进行分流。因此工作地点看不到气瓶，显得规范、整洁。二是结构紧凑、安装方便、操作简单；三是集中供气系统更容易进行监控。因此采用集中供气系统进行供气更安全、更规范、更可靠?？仆镏饕峁┭跗?、氢气、氦气、氮气、乙炔、压缩空气等气体的集中供气系统设计及管路系统安装。

高纯气体控制系统技术要求:

1、气瓶间

①气瓶间应采用300mm以上钢筋混凝土防爆墙，遮阳防晒，并安装防爆门，泄露窗。

②室内地面应有防火花、防静电措施；室内电气设备应具备防爆功能。

③通风良好，室内应安装排气扇。

④可燃气体钢瓶（氢气、乙炔）与助燃气体（氧气）应隔开放置。

⑤气瓶间要设置报警系统。

2、工作间

①所有管道要统筹规划、集中布置、方便安装、便于操作、检修方便。

②所有工艺管道要设置切断阀，并根据需要设置压力表、温度计、流量计、过滤器和减压阀，阀门和仪表要设置在便于观察和检修的地方。

③可燃气体管道要沿墙明线铺设，方便安装和检修。

④使用钢瓶气管道的设备台应离墙布置，且留出不小于600mm的检修空间。

⑤氢气管道应采用焊接连接，不能采用螺纹连接和使用闸阀。

⑥供气系统采用二级减压方式进行供气，气体由15Mpa减到1.5Mpa后再输入到各实验室。

用材

1、管道、球阀、三通和卡套均采用316L不锈钢，高压软管为不锈钢波纹管，在高压软管的进气端配置单向阀，防止更换气瓶时，软管内的气体外泄，又可防止外界的空气混入气路中，影响气体纯度。

2、管道系统：所有气体管道均采用B*别316L不锈钢管，在管路上有过滤杂质和水分的装置。

3、管道的连接：汇排流、终端均采用卡套连接，便于减压器和阀门的维护管理。

4、终端：在每台仪器之前，配置截止阀和二级减压器，截止阀控制每个气路的开启和关闭，减压器用于显示和调整每个终端的压力。

5、气体管道每间隔1.5米采用管码支架固定。

6、整个气路安装完毕后，对整个系统做压力测试，压力24小时后无下降视为合格。