MICROPOLE系统 残余气体分析仪
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 上海首立实业有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 MICROPOLE系统
- 产地
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2024/3/19 7:11:17
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产地类别 | 进口 | 应用领域 | 环保,生物产业,石油,能源,电子/电池 |
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特征
- 较为紧凑的安装尺寸和较轻的重量
与传统的残余气体分析仪相比,尺寸较小,这使它容易整合到您的系统之中。
- 高性能
在只占传统电极一小部分的体积里,微型化的九电极排列提供了良好的灵敏度。
- 高压力条件下可使用
可以在高于0.9Pa(7mTorr, 9 x 10-3mbar)的压力条件下使用,在许多需要昂贵真空泵的应用当中,可以简化或者省略泵的使用。
- 已经校准过的可替换传感器接头
此传感器接头在出货之前已经进行过预调谐和校准。允许客户自己在现场进行传感器的更换。
- 网络传感器
升级到八电极后,可以通过一台使用RS485接口的电脑进行监测。此系统也可以通过以太网进行远程监测。
- 用户友好软件
微电极扫描软件允许用户用各种不同的方式监测气体的部分压力,如趋势曲线图,相似性曲线图,泄露模式,条形统计图,3D等
- 监测控制
可选择性的监测控制器可以安装在反应室的光谱发生器上,使用户无需电脑可以监测真空反应室。
■测量原理
残余气体分析仪是由一个离子源,一个质量分光仪和一个监测单元组成。当残余气体与从高温金属丝释放的热电子碰撞后,它将被离子化。并且,这些因此产生的离子会加速会合到质量能谱仪上。在质量能谱仪上内,直流和交流电压被应用到四个圆柱形的电极上(方形排列),从而让离子因质量的不同而被分离开。这些被分开的离子通过法拉第杯作为直流电被发现。这种离子电流是与残余气体的质量成比例的。