德国diener等离子表面处理设备特点：

1、等离子清洗机效果好，效率高，应用范围广

2、对清洗样品没有任何材质、外观尺寸等要求

3、等离子清洗过程中升温小，基本可达到常温处理

4、射频功率无极连续可调

5、高校的特质电极，是产生均匀等离子体的保证

6、特制电极和托盘结构，可充分利用真空腔体内部空间，使处理效率zui大化，同时也可得到全面有效的清洗

7、*的过载、短路和过热?；さ缏?，可保证射频电源的稳定和安全

8、设备整体?？榛杓?，安装与维护极为简单

Diener等离子清洗机 Zepto 参数配置：

主要技术参数：
1. *半自动控制
2. *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量与时间等参数
3. 双路工作气体，气体流量通过针型阀流量计控制
4. 反应舱为高硼硅玻璃，Φ 211 mm、长 300 mm，容积10.5L
5. 高周波电流频率40KHz,功率0~200W
6. 反射波自动调节，无须手工调节
7. 电极材质为铝/不锈钢
8. 运行模式为手动
9. *时间控制计时器
10. 真空泵的排气能力为3.0m3/Hour，Pfeiffer
11. *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值
12. 外尺寸：宽 525 mm、高 275 mm、深 450 mm
13. 电源电压：单相AC230V 16A

配置清单：
数量
备注
主机    ATTO    一台   Diener
真空泵          一台    pfeiffer

选配：
1、 真空腔体，石英材质，圆柱形，直径：211mm，长300mm（可代替参数4）
2、 真空泵排气能力为5.0m3/h，Pfeiffer(可代替参数10)