SmartSPM原子力显微镜（AFM, SPM）

SmartSPM原子力显微镜，又称扫描探针显微镜，SPM.

测量模式

l         接触式原子力显微镜（大气和液相）

l         半接触式原子力显微镜（大气和液相）

l         真正非接触式原子力显微镜

l         横向力/摩擦力显微镜（LFM）

l         导电原子力显微镜

l         磁力显微镜（MFM），开尔文探针（Kelvin Probe）

l         电容和静电力显微镜（EFM）

l         高级的纳米光刻和纳米操作能力

l         音叉原子力显微镜

l         扫描范围：100x100x15um（+ / -10%）

l         扫描类型：样品

l         XY非线性度： 0.03 %

l         Z非线性度： 0.1 %

l         噪音：

Ø         电容传感器开，在200Hz带宽，在XY 0.1nm RMS，

Ø         电容传感器关闭，在100Hz带宽，在XY 0.02nm RMS。

Ø         1000Hz带宽， < 0.04nm的RMS Z电容式传感器

l         数字闭环控制：X ， Y ，Z轴

l         XY共振频率： 7KHz（卸载）

l         Z共振频率： 15 KHz（卸载）

l         主动消除XY相位滞后，过冲和结圈现象，在快速扫描时无任何动态图像失真

l         在扫描器共振频率上Z控制信号的数字滤波技术，实现了极短的稳定时间

l         全自动样品定位：范围-5 x 5mm，

定位分辨率-1 um