運(yùn)動(dòng)軸

X軸

Y軸

Z1軸

（測(cè)量用）

Z2軸

（定位用）

測(cè)量范圍

60mm

60mm

10mm

60mm

分辨率

0.1um

0.1um

0.01um

0.1um

標(biāo)尺方式

光柵尺

光柵尺

光柵尺

脈沖控制

測(cè)量精度

(L=測(cè)量距離mm)

(2+4L/100)   um

(2+4L/1000)   um

(0.3+0.5L/10)   um

-

自動(dòng)
  對(duì)焦系統(tǒng)

再現(xiàn)性

σ=0.03μm（鏡面反射樣本）

對(duì)焦光斑

Φ=1um（100X物鏡）

光源

半導(dǎo)體激光（635nm，最大1mW，Class-2）

測(cè)量物鏡

100X（工作距離3.4mm，數(shù)值孔徑0.8）

觀察倍率約1100X（19吋顯示器時(shí)）

定位物鏡

5X（滑動(dòng)式切換）【視場(chǎng)】

照明

柯勒照明光路（白色LED光源）

其他

XY載物臺(tái)

210*210mm

樣品高度

最大70mm

樣品重量

最大4kg

設(shè)備尺寸

主機(jī)400*400*450mm

防震功能

三點(diǎn)式支撐墊（固有頻率：水平方向2.1Hz，垂直方向3.3Hz）

設(shè)備重量

31Kg

控制部分

操作界面

電腦（Windows操作系統(tǒng)）

運(yùn)動(dòng)控制器

四軸控制器（MSCN-4N）

功耗（合計(jì)）

250W

測(cè)量原理

非接觸式

非接觸式

測(cè)量方式

單點(diǎn)激光自動(dòng)對(duì)焦反射式

光學(xué)相干斷層掃描（OCT）層析式

測(cè)量對(duì)象

成品鏡片，半成品，模具

成品鏡片，半成品，模具

測(cè)量鏡片

硬鏡（RGP、角塑、鞏膜鏡等）

硬鏡（RGP、角塑、鞏膜鏡等）

軟鏡（水凝膠，硅水凝膠等）

測(cè)量參數(shù)

表面輪廓，平整度和粗糙度

表面輪廓

測(cè)量介質(zhì)

空氣中

空氣中或溶液中

表面輪廓擬合

有

有

有

無(wú)

測(cè)量光源

635nm激光（最大1mW）Class-2

830nm激光（2x3mW）Class-3R

測(cè)量區(qū)域（范圍）

60*60*10mm

Φ20mm*10mm

測(cè)量分辨率

水平0.1um，垂直0.01um

水平1um，垂直0.1um

測(cè)量精度

水平2um，垂直0.35um

水平5um，垂直0.5um

（溶液中需乘以50~100倍）

測(cè)量重復(fù)性

σ=0.03μm

水平10um，垂直0.5um

（溶液中需乘以10~20倍）

主體尺寸

400*400*450mm

160*360*240mm

主體重量

31Kg

5Kg

配置

測(cè)量主體+運(yùn)動(dòng)控制箱+PC

測(cè)量主體+激光器箱體+PC