主要技术参数：

1 设备外观：喷塑处理

外形尺寸：720（宽）×620（高）×600（深）不含机械泵

2 反应仓材质：不锈钢、反应仓尺寸：250（宽）×200（高）×250（深）

3 等离子体频率：13.56MHz

4 射频电源功率：0-300W 可调

5 设备功率：≤1kW

6 控制方式：

等离子清洗机采用包括触摸屏人机界面的 PLC 控制，操作方式包括自动模式和手动模式。在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理，可同时存储50组不同的配方。使用时只需要将相应配方号调出即可。设备参数分级管理，设备操作员、工艺人员、维护人员使用不同口令管理不同参数，提高设备安全性。手动模式用于实验工艺以及设备维护维修。

7 MFC 质量流量计控制（标准配置2路）

8 气体流量：

工艺气体(氧、氩等)： (0～200)ml/min  （标准气压,0℃)

9 工作气体(标配为氧、氩)接口压力：0.1MPa  （若需其它气体需作声

明）净化冷却气体（氮气）接口压力：0.5MPa

10 设备工作节拍：空运转单次清洗时间≤5min

11 设备MES兼容接口：设备通过数据网络将工艺参数传输至MES平台

更多选择可咨询，如4寸等离子清洗机、多层等离子清洗机。