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《微纳米几何量计量器具》溯源系统意见征集
2019年12月26日 10:31:02
来源：化工仪器网 点击量：5721
微纳米几何量计量器具是指能直接或间接测出微米、纳米尺度几何量的装置、仪器仪表、量具，包括计量基准，计量标准和工作计量器具。随着科技水平的不断发展和产业结构升级，微纳米几何结构的准确计量已经成为制约国家重大领域关键部件研发、微纳米产业贸易交接的重要前提。
【化工仪器网 政策标准】微纳米几何量计量器具是指能直接或间接测出微米、纳米尺度几何量的装置、仪器仪表、量具，包括计量基准，计量标准和工作计量器具。随着科技水平的不断发展和产业结构升级，微纳米几何结构的准确计量已经成为制约国家重大领域关键部件研发、微纳米产业贸易交接的重要前提。
当前，由于测量原理不同，各类微纳米几何结构测量仪器测量结果的一致性难以保障，而产业的飞速发展和大量计量检测需求表明，目前迫切需要建立一套具有完整溯源链条、覆盖多种测量原理的微纳米几何量计量器具作为基准，以满足全国范围内的微纳米几何量值溯源和传递需求。
经过多年积累和努力，中国计量科学研究院在基于各种原理的微纳米几何量计量溯源方法、装置、量值传递路线与知识技术等方面的积累日趋完善，其中多项计量能力通过了CMC的同行评审以及CNAS认证，在比对中也取得了较为满意的比对结果，完全具备制定技术规范的能力，建立一套完整的微纳米几何量计量链条的时机已经逐渐成熟。
近日，全国几何量长度计量技术委员会将完成的初稿——《微纳米几何量计量器具》溯源系统面向社会进行公示。有意见的专家学者可将意见反馈至秘书处。
《微纳米几何量计量器具》溯源系统规定了微纳米几何量计量基准器具、计量标准器具和工作计量器具的用途、组成和技术指标。同时规定了从计量基准器具到计量标准器具再向工作计量器具进行量值传递的程序。该项溯源系统适用于微纳米几何量计量器具的溯源, 另外，在开展校准时也可作为量值溯源的依据。
该项计量法规主要从三个层级规定了微纳米几何量计量器具的溯源及量值传递体系：1.描述微纳米几何量计量基准及相关内容；2.描述微纳米几何量计量标准器具及相关内容；3.描述微纳米几何量工作计量器具及其相关内容。
值得注意的是，在计量基准组成方面，规范指出，考虑到不同测量原理导致现有各类微纳米测量仪器的测量不确定度、范围不同，且不存在某一个基准装置可以提供跨尺度、跨维度的综合计量溯源能力，因此为了确保溯源体系能覆盖纳米和微米全范围，全面地提供计量校准能力，该溯源体系的计量基准将主要包括以下五个标准装置：纳米几何结构标准装置；毫米级纳米几何结构样板校准装置；微纳米样板校准装置；紫外光学二维微纳几何结构标准装置；双探针微纳线宽校准装置。
而根据测量原理，实现微纳米几何量测量的工作计量器具主要包括扫描探针显微镜、电子显微镜、光学显微镜、粒径粒形测量仪与膜厚测量仪等，这些微纳米几何量测量仪器的技术指标主要由测量范围及允许误差上限组成。
微纳米几何量计量器具溯源系统框图如下所示：
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