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近期我司新升级了小型溅射、蒸镀仪器：1、腔体材质全铝合金一体加工成形。2、进气口直接在腔体侧壁整体加工进气管道减少至少3处管道连接口从而减小漏气故障率。3、设备宽度由435mm 减小到420mm。 4、溅射磁场加强。5、6两款产品全部预留了SMA扩展口，进行晶振或者其他信号输入输出。小型台式溅射功率可控磁控溅射仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压 电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率，可对大部分金属进行均匀物理沉积，真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜。
2025款 1英寸微型探针台：修改了 3轴滑台加强刚性强度，增加了行程，提高了精度和使用寿命，腔体部分内径和高度加大增高，电接口升级了增强绝缘电阻和最高加电压上限。
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