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二氯硅烷分析用氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用普瑞公司的中心切割技術(shù)，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設(shè)計，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)。

二氯硅烷分析用氦離子色譜儀GC-9280

二氯硅烷分析用氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用普瑞公司的中心切割技術(shù)，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設(shè)計，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進樣量。

項目名稱		指標(biāo)
三氯氫硅(SiHCl₃ )含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0^-6 ≤		10
(一氯硅烷+氯化氫)含量（SiH₃Cl+HCl）含量"，以氯化氫計（體積分?jǐn)?shù)）/l0^-6≤		50
氮（N₂）含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0^-6≤		1
（氧+氬）（O₂+Ar）含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0^-6≤		1
一氧化碳（CO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0^-6≤		1
氫（H₂）含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0^{-6 ≤}		10
二氧化碳（CO₂）含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0^{-6 ≤}		1
總烴（THC）含量，以甲烷（CH₄）計（體積分?jǐn)?shù)）/l0^-6≤		1
金屬元素及其他元素含量	（硼+鋁）（B+Al）含量/（µg/kg） ≤	0.1
	（磷+砷）（P+As）含量/（µg/kg） ≤	0.3
	鎵（Ga）含量/（µg/kg） ≤	0.1
	銻（Sb）含量/（µg/kg） ≤	0.1
	銦（In）含量/（µg/kg） ≤	0.1
	鈣（Ca）含量/（µg/kg） ≤	1
	鉻（Cr）含量/（µg/kg） ≤	1
	鐵（Fe）含量/（µg/kg） ≤	5
	鉀（K）含量/（µg/kg） ≤	1
	鈉（Na）含量/（µg/kg） ≤	0.2
	鎳（Ni）含量/（µg/kg） ≤	1
	鉬（Mo）含量/（µg/kg） ≤	0.1
	錳（Mn）含量/（µg/kg） ≤	0.2
	銅（Cu）含量/（µg/kg） ≤	0.2
	鎘（Cd）含量/（µg/kg） ≤	0.5
	鈷（Co）含量/（µg/kg） ≤	0.5
	鋅（Zn）含量/（µg/kg） ≤	0.1

二氯硅烷分析用氦離子色譜儀