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当前位置：曦源科学仪器（上海）有限公司>>实验室仪器及设备>>真空泵>> KASHIYAMA SDE120TX 真空泵
| 产地类别 | 进口 | 产品类型 | 无油泵 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 面议 | 仪器种类 | 真空泵 |
| 应用领域 | 食品/农产品,能源,制药/生物制药,综合 |
KASHIYAMA SDE120TX 真空泵是一款高性能干式真空泵，专为半导体、光电显示、化学气相沉积（CVD）、蚀刻（Etch）和其他工艺环境设计。该机型隶属于日本樫山工业（Kashiyama Industries, Ltd.）SDE-TX 系列，采用先进的垂直螺杆结构，具有出色的耐腐蚀性能和稳定性，是现代真空系统的理想选择。
最大抽速：1500 L/min
极限压力：1.3 Pa（不加氮气时）
输入电压：三相 AC200–220V，50/60Hz
功耗：约 2.8 kW
外形尺寸：约 930 mm × 400 mm × 500 mm
整机重量：约 151 kg
大抽速性能：最大抽速可达 1,500 L/min，满足苛刻工艺对真空效率的高要求。
低极限压力：极限真空度低至 1.3 Pa，在未使用氮气吹扫时亦可维持高性能稳定运行。
干式运行设计：无油结构避免了污染风险，特别适合洁净室环境和高纯度工艺。
高可靠性结构：垂直安装的双螺杆结构可有效防止颗粒堆积，延长泵体寿命。
适应恶劣气氛：配备高耐腐蚀材料与温控系统，适用于处理腐蚀性和反应性气体。
半导体蚀刻设备（Etch）
化学气相沉积（CVD、PE-CVD、LP-CVD、SA-CVD）
原子层沉积（ALD）
OLED 与液晶面板制造
精密薄膜沉积与剥离工艺
实验室与洁净室真空系统
前级加热排气配管系统：防止冷凝和积碳，增强系统稳定性。
多级温控系统：根据不同应用调节泵体温度，提高兼容性。
除害装置联动接口：支持等离子、燃烧、冷凝等除害方式接入，提升环保性能。
远程监控与报警系统：实时掌握泵体运行状态，便于系统集成与自动化管理。
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