HORIBA LF-F / LV-F 系列数字式液体质量流量计/控制器

产品简介

HORIBA LF-F / LV-F 系列数字式液体质量流量计/控制器 是专为微小液体流量测量和控制而设计的高性能设备。该系列产品采用冷却测量原理，能够实现从微升至超低流量的高精度控制，特别适用于对流量控制精度要求较高的应用场景。

产品特点

• 冷却测量原理：采用珀尔帖元件冷却液体，避免了低沸点化学物质沸腾的风险，实现更安全的化学控制 。

• 高精度测量：具备 ±0.5% F.S. 的高精度和 ±0.5% F.S. 的重复性，确保流量控制的稳定性和一致性。

• 快速响应：响应时间小于 3 秒（T98），满足对流量变化快速响应的需求。

• 超洁净设计：接液部分采用 SUS316L 不锈钢材质，满足超洁净工艺要求，适用于半导体等制造领域。

• 多种通信接口：支持模拟信号输出（0–5 VDC）和数字通信（RS-485），便于集成至自动化控制系统中。

• 广泛的流量范围：提供从 0.02 g/min 到 100 g/min 的多种型号，满足不同流量控制需求 。

型号与规格

LF-F / LV-F 系列提供多种型号，以满足不同的流量控制需求：

• LF-F20M-A / LV-F20(PO/MO)：适用于 0.02、0.05、0.1 g/min 的超低流量测量和控制。

• LF-F30M-A / LV-F30(PO/MO)：适用于 0.2、0.5 g/min 的低流量应用。

• LF-F40M-A / LV-F40(PO/MO)：适用于 1、2、5 g/min 的中低流量控制。

• LF-F50M-A / LV-F50(PO/MO)：适用于 10、20 g/min 的中等流量应用。

• LF-F60M-A / LV-F60(PO/MO)：适用于 50、100 g/min 的较高流量控制需求。

所有型号均具备 ±0.5% F.S. 的精度和 ±0.5% F.S. 的重复性，响应时间小于 3 秒（T98），接液材质为 SUS316L 不锈钢，适用于 5 至 50°C 的操作温度范围，最大操作压力为 5 MPa（仅限流量计型号）。

典型应用场景

• 半导体制造中的光刻、清洗、涂胶等工艺液体控制。

• 光电显示产业的液体配比系统。

• 微流控与化学反应控制设备。

• 高精度试剂配液与传输。

• 激光加工冷却液精控。