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5100KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
| 參考價: | ￥ 7840 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- 5100 產(chǎn)品型號
- KOFLOC/科賦樂 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：71更新時間：2025-05-21 09:05:36
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 5千-1萬 | 介質(zhì)分類 | 氣體&液體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂是日本流量控制設(shè)備制造商，成立于1958年，專注于質(zhì)量流量計（MFM）、質(zhì)量流量控制器（MFC）和精密閥門的研發(fā)生產(chǎn)，產(chǎn)品以高精度、低壓損、長壽命著稱，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、醫(yī)療和化工等領(lǐng)域。
產(chǎn)品介紹
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
5100系列是一款質(zhì)量流量控制器，它實現(xiàn)了無焊接結(jié)構(gòu)（VCR規(guī)格），金屬密封的基本性能，以及半導(dǎo)體工藝氣體控制所需的±1％精度。
板載傳感器的響應(yīng)能力。它具有出色的分辨率，可以處理1 sccm（N2）的微流量。
通過使用溫度跟蹤型電流差檢測流量傳感器實現(xiàn)高精度，高速傳感器響應(yīng)采用電磁鐵電磁閥常閉閥由于無焊接結(jié)構(gòu)（VCR規(guī)格），金屬密封，泄漏低采用隔膜閥，減少死體積面對面，體型和接線連接與其他公司的更換兼容
技術(shù)優(yōu)勢
熱式技術(shù)（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質(zhì)量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導(dǎo)體工藝氣體控制）。
壓差式技術(shù)（液體）：
通過層流元件產(chǎn)生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設(shè)計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。
智能功能：
數(shù)字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩(wěn)定性±0.5%，響應(yīng)時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產(chǎn)業(yè)
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。
方案：全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 傳落器類型 | 熱式繞線型 | |
|---|---|---|
| 適用氣體※1 | N? (可根據(jù)氣體轉(zhuǎn)換功能適用Air,H2,He,ArO2,CO2,CH4) | |
| 流量量程※3 (0℃,tatm) | 10、30、50、100、300、500sccm, 1、3、5、10sim | |
| 控制范圍 | 2-100%(FS) | |
| 響應(yīng)性 | 所有量程控制范圍1秒以內(nèi)(within±2%F.S.typical) | |
| 精度 | ±1.0%S.P. (>35%F.S.),0.35%FS. (≤35%F.S.) | |
| 重現(xiàn)性 | ±0.2%FS | |
| 動作壓差※4 | 50-300kPa(L:50~149kpa、H:150～300Kpa) | |
| 入口最大壓力 | 500kPa(G) | |
| 耐壓 | 980kPa(G) | |
| 外部泄漏率 | 1.0×10-?Pa ·m3/sec(He)以下 | |
| 溫度 | 充許環(huán)境溫度 | 5~50℃ |
| 精度保證溫度 | 15~35℃ | |
| 允許保存溫度 | -10～60℃ | |
| 允許環(huán)境濕度 | 10～90%RH(未出現(xiàn)冷凝) | |
| 與氣體接位部位的材 質(zhì) | SUS316,SUS316L,磁性不銹鋼，PTFE,PCTFE,FKM | |
| 電氣連接 | Dsub9針KFC Standard(依據(jù)SEMI standard) RJ-45模塊化插孔×2 | |
| 流顯設(shè)置信號 | V:0~5VDC(輸入抗阻1MQ以上)/ I:4～20mA((輸入抗阻2502以上) | |
| 流量輸出佰號 | V:0～5VDC(最小負載電阻10Ω以上) I:4~20mA(最小負載電阻5002以上) | |
| 數(shù)字通信 | RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)的地址設(shè)置 可選(MODBUS-RTU9600bps) | |
| 所需電源 | 24VDC(±10%)300mA以下 | |
| 接頭 | 1/4SW(標準) | |
| 安裝方位 | 建議水平方向 | |
| 重量 | MFC:約500g | |
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