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产品简介
| 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,电气,综合 |
|---|
省电设计，运行数据、触地计数、型号信息等可以存储在主机中 * 即使在大修期间更换控制器，也可以传输数据。
产品介绍
Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵
省电设计，运行数据、触地计数、型号信息等可以存储在主机中 * 即使在大修期间更换控制器，也可以传输数据。
各种通信规格：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT
国际标准：NRTL/SEMI-S2/CE
Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵
涡轮分子泵是一种高真空泵，通过高速旋转的涡轮叶片将气体分子从进气口定向抽向排气口，通常与前级泵（如旋片泵）联用，实现10?11~10?1 Pa（超高真空至中真空）的压力范围。其特点是无油污染、抽速快，广泛应用于半导体、科研、镀膜等领域。
结构与工作原理
（1）核心组件
转子叶片：多级铝合金或钛合金涡轮叶片（转速约20,000~90,000 RPM）。
定子叶片：与转子交错排列，形成气体通道。
电机：高频交流电机或磁悬浮轴承电机（避免机械磨损）。
排气口：连接前级泵（如旋片泵），排出压缩后的气体。
（2）工作原理
动量传递：高速旋转的叶片撞击气体分子，使其向下级运动（分子流态下有效）。
压缩比：每级叶片对气体进行压缩，最终由前级泵排至大气。
工作压力范围：依赖分子流状态（需气体分子平均自由程＞叶片间距）。
?? 注：涡轮分子泵在**分子流态（压力＜10?1 Pa）**下效率高，需避免大气压下启动（会过热损坏）。
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