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高斯摩(成都)国际贸易有限公司
中级会员·1年
具体成交价以合同协议为准
- 联系人：
- 汪雅琪
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- 86-028-87319898
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- 地址：
- 四川成都市高新区天府大道中段500-1号东方希望天祥广场C座4527室
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- www.cosimoinc.cn
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产品介绍
Osaka Vacuum大阪真空 复合分子泵
?半导体制造
?电子枪排气、离子源排气
?FPD 制造
?表面处理、表面改性
?各种电子元件的制造
?分析、检测设备
?管材、光学元件的制造
?加速器、放射线设施、聚变研究
?热处理
?研发
* 排放腐蚀性气体时，请选择化学相容性 TG-M 或 TG 系列。
Osaka Vacuum大阪真空 复合分子泵
灵活的安装姿势、紧凑的尺寸、节能、快速启动、可快速停止排气、能够进入大气层、可以进行串行通信
[ 工作环境温度 ]
极限压力保证环境温度为 10~23°C。 允许环境温度为风冷 10~32°C，水冷 10~40°C。 极限压力保证：冷却水温度不大于30°C，允许冷却水温度为10~35°C。
根据吸入气体
的类型，它可能会使轴承润滑脂和内部零件变质。 请联系我们了解兼容的气体类型。
| 进气法兰 | VG65 ISO-R63 CF63 系列 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 51 |
| N2（带?；ね?（升/秒） | 49 | |
| H2 （升/秒） | 12 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1,4×10%7 |
| H2 | 5×102 | |
| 极限压力 | VG/ISO-R/CF （帕） | <3×10-6 |
| VG?ISO-R/CF （托） | <2.3×10-8 | |
| 最大气体流速※1 | N2 （SCCM） | 80 |
| 启动时间 | （分钟） | 1-1.5 |
| 停机时间 | （分钟） | 1-1.5 |
| 允许的辅助压力 | （Pa / Torr） | 1330 / 10 |
| 推荐的辅助泵 | （升/分钟） | ≧50 |
| 安装姿势 | 自由 | |
| 质量 | VG/ISO-R/CF（千克） | 4.2 / 6 |
| 控制器类型 | TC64 系列 | |
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