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北崎国际贸易（北京）有限公司
中级会员·2年您现在的位置： 北崎国际贸易（北京）有限公司>>ULVAC爱发科>> 进口ULVAC爱发科LR1200 罗茨干式真空泵
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产品简介
| 应用领域 | 化工,能源,电气,综合 |
|---|
通过在低温范围内平衡泵体的热量，它是 PVD 工艺抽真空的理想泵，尤其是在制备和取出室中，缩短泵送时间以提高吞吐量非常重要。
产品介绍
ULVAC爱发科LR1200 罗茨干式真空泵
ULVAC爱发科LR1200 罗茨干式真空泵
除了低温整平（型号：LR）
PVD 工艺外，它还特别适用于制备室和取出室的排气，在这些地方，缩短抽气时间对于提高产量很重要。
由于其密封结构，由于其密封
结构，它非常安全。
瞬时停止：在 1000 毫秒内实施瞬时停止
措施。
优异的耐腐蚀性主要部件采用表面硬度高、耐腐蚀性优异的特殊
表面处理。 减少排空腐蚀性气体时泵内部的腐蚀。
通信功能：
可以读取泵运行状态和警告/警报历史记录数据。 通过使用专用软件和计算机通信，可以进行集中监控。
用
成膜设备（溅射设备、气相沉积设备等）
减少准备室和取出室的排气时间
作为辅助排气泵（涡轮分子泵的辅助排气、机械增压泵）
| 型 | LR300 系列 | LR600 系列 | LR1200型 | LR1800型 | LR3601 系列 | LR3601-T（TT） 铜皮 | LR3601-R | LR3601-TR（TTR） 铜 | ||
| 使用的泵 | DRP | LR60 系列 | LR90 系列 | LR90 系列 | LR180型 | LR421 系列 | LR421-T | LR421 系列 | LR421-T | |
| MPB | PRC-003A 系列 | PRC-006A 系列 | PRC-012A 系列 | PRC-018A 系列 | PRC-036C 系列 | PRC-036C（-T） 系列 | PRC-036D 系列 | PRC-036D（D-T） 系列 | ||
| 最大抽速 | 50 赫兹 | m3/h （升/分钟） | 359 （5,980） | 653 （10,900） | 1,012 （16,900） | 1,701 （28,350） | 3,200 (53,333) | |||
| 60 赫兹 | m3/h （升/分钟） | 365 （6,080） | 701 （11,700） | 1,051 米 （17,500） | 1,784 （29,700） | 3,200 (53,333) | ||||
| 极限压力 | 0.67 帕 | |||||||||
| 最大入口压力（入口压力） | 气压 | |||||||||
| 最大排气口压力（排气压力） | 1Pa ~ 大气压 | |||||||||
| 进气口 （CE 规格） | VG80 （KF80） | VG100 型 （KF100） | VG150 型 （KF100） | VG150型 | ||||||
| 排气口 | 肯氟烃40 | KF50 系列 | ||||||||
| MBP 表面处理 | 〇 *2 | 〇 *2 | 〇 *2 | 〇 *2 | × | T：× TT：× | × | TR：× TTR：〇 | ||
| 质量 | 公斤 | 275 | 370 | 420 | 545 | 660 | 720 | 660 | 720 | |
| 电力 *3 | 三个阶段 | VAC （赫兹） | 200 (50/60), 220 (60) | 180~240 / 380~440 （50/60） | ||||||
| 当前值 | 稳态 | 一个 | 7.0 （200V 时） | 12.3 （200V 时） | 13.7 （200V 时） | 21.4 （200V 时） | 31.0 （200V 时） 400V 时 20.5 | 35.4 （200V 时） 400V 时 20.5 | ||
| 最大值 | 一个 | 9.6 （200V 时） | 19.0 （200V 时） | 24.2 （200V 时） | 39.8 （200V 时） | 200V 时为 58.4,400V 时为 40.5 | 82.0 （200V 时）400V 时 40.5 | |||
| 冷却水临时压力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | |||||||
| 冷却水入口/出口压差 | 兆帕 | >0.1 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | ||||||
| 冷却水流量 | 升/分钟 | >5.0 | >4.0 | |||||||
| 吹扫气体 | 一次压力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | |||||||
| 二次压力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | ||||||||
| N2 吹扫 | 轴 | SLM 系列 | 5 | |||||||
| 加斯伯勒 | SLM 系列 | 0~45 | 无 *4 | 0~45 | 无 *4 | 0~45 | ||||
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