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北崎国际贸易（北京）有限公司
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产品介绍
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵UR421-T
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵UR421-T
可以在气态下排放高温区域热均衡
CVD 和蚀刻产生的升华废气排放物。
“Model：UR" 甚至可以高于 “Model：HR"。
由于安装了密封
性密封电机，因此非常安全。
瞬时停止：在 1000 毫秒内实施瞬时停止
措施。
优异的耐腐蚀性主要部件采用表面硬度高、耐腐蚀性优异的特殊
表面处理。 减少排空腐蚀性气体时泵内部的腐蚀。
通信功能：
可以读取泵运行状态和警告/警报历史记录数据。 通过使用专用软件和计算机通信，可以进行集中监控。
用
CVD 设备
蚀刻设备
灰化装置
ALD、ALH 等
我司代理及优势品牌一览明细：
代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉
NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机
SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮
NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽
优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器
IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机
SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等
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