联系电话
玉崎科学仪器（深圳）有限公司
中级会员·2年
具体成交价以合同协议为准
- 联系人：
- 肖工
- 电话：
- 13530735388
- 手机：
- 13530735388
- 售后：
- 13530735388
- 传真：
- 86-0755-26703456
- 地址：
- 龙华街道龙华大道906号电商集团7层
- 个性化：
- www.tamasakisci.cn
扫一扫访问手机商铺
产品介绍
日本ULVAC爱发科半导体光电干法刻蚀设备
日本ULVAC爱发科半导体光电干法刻蚀设备
用于光电器件和MEMS的
干法刻蚀设备NLD-5700
用于光器件和MEMS的NLD-5700干法刻蚀系统是配备磁中性线等离子体（NLD）源的用于大规模生产的干法刻蚀系统。 （采用磁中性线等离子体（NLD）的低压、低电子温度、高密度等离子体的干式蚀刻设备，由ULVAC原创开发。）
特征
通过在洁净室内工作，洁净室可以扩展到两个房间（NLD、磁场ICP、CCP和灰化室）。
NLD是一种可以在空间和时间上控制的等离子体，因此干洗很容易。
实现轻松的腔室维护。
我们提供从掩模蚀刻到石英和玻璃蚀刻的工艺解决方案。
半导体技术研究院提供完善的工艺支持系统。
用途
光学器件（衍射光栅、调制器、光波导、光开关等）、不均匀微透镜。
流体路径创建 (μ-TAS) 和光子晶体。
特别提示：商品详情页中（含主图）以文字或者图片形式标注的抢购价等价格可能是在特定活动时段下的价格，商品的具体价格以订单结算页价格为准或者是您与商家联系后协商达成的实际成交价格为准；如您发现活动商品价格或活动信息有异常，建议购买前先咨询商家。
具体的成交价格可能因商品参加活动等情况发生变化，也可能随着购买数量不同或所选规格不同而发生变化，如用户与商家线下达成协议，以线下协议的结算价格为准，如用户在上完成线上购买，则最终以订单结算页价格为准。
