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氮氣質(zhì)量流量控制器廠家MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應快速調(diào)節(jié)氣體流量至設定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動， 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

氮氣質(zhì)量流量控制器廠家MFC330 系列氣體質(zhì)量流量控制器具有精度高、重復性好、響應速度快、穩(wěn)定性好、工作壓力范圍 寬、極低零漂等特點。模擬量和數(shù)字量等多種通訊方式可選，內(nèi)置顯示屏可選，操作配置靈活。 MFM/MFC330廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、特種材料學科、石油化工、醫(yī)藥、環(huán)保等行業(yè)的氣流 測量和控制。其典型的應用場合包括: 電子工藝設備, 如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、 離子注入; 以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀、光譜儀、 質(zhì)譜儀及其它分析儀器。