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当前位置：深圳秋山工业设备有限公司>>化工机械设备>>真空计>> M-351PG日本Anelva皮拉尼真空计耐腐蚀性半导体设备
| 产地类别 | 进口 | 价格区间 | 5千-1万 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,能源,电子/电池,电气,综合 |
日本Anelva皮拉尼真空计耐腐蚀性半导体设备 M-351PG 特点介绍
该型号使用Ni丝来提高耐腐蚀性，并与RIE和CVD等硬工艺设备兼容。
半导体、电子器件制造设备、
干式蚀刻设备、等离子体CVD设备、LD-CVD设备等
食品药品制造设备
真空冷冻干燥、真空蒸馏设备、灭菌设备等。
日本Anelva皮拉尼真空计耐腐蚀性半导体设备 M-351PG 规格参数
型号名称M-351PG-SP
（镍丝规格）（带设定点型）
测量压力范围5×10 -2 ～ 1×10 5 (Pa)
精度（帕）±50%：5×10 -2 ～ 1×10 -1
±15%：1×10 -1 ～ 1×10 4
±50%：1×10 4 ～ 1×10 5
再现性±2%：1×10 -1 ～ 1×10 4 Pa
输入电压直流+14～30V
能量消耗2W
模拟输出0-10V
表计识别电阻值13 KΩ（D-sub 引脚 5 和 9 之间）
设定点2 个接点输出（1 A 30 V，DC）
界面-
输入/输出连接器D-sub9针
最大电缆长度兼容200 m (0.34 mm 2 ) *1
工作温度限制5～60℃
储存温度范围-20 至 70°C（非工作）
烘烤温度＜+150 ℃（O型圈规格，仅测头）
＜＋300 ℃（金属密封规格，仅测头）
允许过载压力1 MPa（仅限于接头形状NPT、仅限于惰性气体、绝压）
兼容的皮拉尼传感器型号名称MP-2
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