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NIM型真空紫外光谱仪,采用Seya- Namioka光路结构,入射狭缝和CCD探测器位于罗兰圆上,可以单色模式和光谱模式切用 。NIM型真空紫外光谱仪可应用于大科学装置、半导体极紫外光源与探测器研究、空间与防务。
产品特点:
1、波长范围较宽
2、在线精密可调狭缝
3、可扩展空间维聚焦
4、可进行系统集成服务
5、结构紧凑集成度高
6、高真空兼容性
主要参数:
· 光栅类型:球面光栅
· 波长范围:80nm~200nm
· 光谱分辨率:0.16nm@167nm
· 波长精度:根据需求设计
· 探测器类型:科研级相机
· 狭缝宽度:0.01~3mm在线连续可调
测试数据:
应用领域:
大科学装置/半导体极紫外光源与探测器研究/空间与防务