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ROT-OS09 # 工位九、薄膜測厚工位簡介

在薄膜材料、玻璃制造等多個行業(yè)里，薄膜的在線測量不可少。薄膜測厚是光電技術(shù)中‘算法密集型’的應(yīng)用，應(yīng)用了光譜預(yù)處理方法、回歸算法和傅立葉變換信號處理等處理方法。學(xué)生在此工位中通過搭建薄膜測厚的光路，跟隨流程，了解如何從大量的數(shù)據(jù)中，去除干擾，得到所需要測量的關(guān)鍵值的方法。

ROT-OS09 # 工位九、薄膜測厚工位實(shí)訓(xùn)內(nèi)容

學(xué)習(xí)和掌握白光干涉測定薄膜厚度的基本原理；

使用擬合算法測量單層MgF2增透膜和鍍膜硅片的膜厚；

使用快速傅立葉變換算法測量PET薄膜的厚度；

自建薄膜樣品的測量方法。