光学晶圆缺陷YP-150ID瑕疵现货光源HPS-150

光学晶圆缺陷YP-150ID瑕疵现货光源HPS-150

产 品 特 点

1. 大于   400,000luxes的照明光线可容易检测出只有精密探测仪才可测出的瑕疵。(照射面积为 30mmdia).

2.   使用卤素灯作为光源，色温高达3400K，照光和颜色均一了稳定强光的照射。

3. 由于冷镜的使用，使得热影响与常规铝镜相比较少1/2   到 1/3

4. 光束直径由镜片调整30-50mm 之间调整

5. 底部开光，调整照明勘察器高度，操作简便，可控制光量

高强度卤素光源装置 是一种宏观观察照明装置，用于检测
最终成品表面上的各种缺陷，如异物、划痕、抛光不均匀、雾霾、滑移等，是工件加工过程中劳动强度最大的部分。半导体晶片和液晶基板

YP-150I 照度范围：30mmφ

YP-250I 照度范围：60mmφ

超精密平面检测的理想选择！通过惊人的照明，可以检测小于 0.2 μm 的缺陷。

YP-150I"是一种用于显微观察的照明装置，用于检测

最终成品表面上的各种缺陷，如异物、划痕、抛光不均匀、雾度、滑移等，是半导体加工过程中劳动强度的一种。晶圆和液晶板

另外，由于采用卤素灯作为光源，色温高，

光照不均匀的情况很少，光照***稳定锐利。

姊妹机“YP-250I"也可用于 8 英寸。

光源采用卤素灯

　　■ 可以将样品表面照射到400,000 Lx或更高

　　■ 热量的影响降低到传统铝镜的1/3

　　■ 高照度观察和低照度观察可一键切换

　　请用于超精密平面检测！

规 格 书