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紧凑型EBARA荏原EV-S200真空泵EV-S200P/N
EBARA荏原EV-S100紧凑型真空泵EV-S100P/N
EV-S20热销EBARA荏原小巧 真空泵EV-S20P/N
| 泵轴位置 | 卧式 | 抽气量 | 见参数 |
|---|---|---|---|
| 输送介质 | 其他 | 外形尺寸 | 见参数 |
| 叶轮数目 | 单级 | 应用领域 | 石油,能源,电子/电池,电气,综合 |
| 最大工作压强 | 见参数 |
EBARA荏原高速排气用ESA25-D干式真空泵
EBARA荏原高速排气用ESA25-D干式真空泵
ESA型有适合排出氢气等轻质气体的排量1,400L/min～10,000L/min的型号，以及适合排气的20,000L/min～80,000L/min的排量型号。适合大型腔体的高速排气。 10,000L/min 或更低型号适用于轻质气体排气，设计紧凑，并提供耐腐蚀材料选项，非常适合 MO-CVD 等高流量轻质气体排气应用。大型机型在大排量的情况下仍能实现安静的噪音和低振动，并且还可以选择有机溶剂排气，使其成为液晶溅射设备、真空干燥工艺、大型负载锁等的理想选择。
荏原株式会社（以下简称“荏原"）精机电子公司藤泽工厂今年5月干式真空泵累计出货量达到15万台。这是自1986年第一台机器发货以来，时隔32年取得的成就。
直到 20 世纪 80 年代，油旋转泵一直是半导体制造工艺中使用的主流真空泵，但随着对更清洁的真空环境的需求随着集成度的提高而增加，我们应用了我们的核心竞争力——旋转机械技术，我们已经将干式真空商业化。在与气体接触的部位不使用密封液的泵。我们的干式真空泵不仅能产生洁净的真空，而且采用非接触式密封结构，减少了维护频率。利用这些功能，应用目前已从半导体和显示器制造扩展到太阳能电池、LED、锂离子二次电池和各种分析设备等广泛的行业。
根据中期管理计划（E-Plan2019）的措施，荏原将在2019年之前启动生产效率大幅提高的干式真空泵全自动化工厂，深化与海外生产基地的合作，并继续响应半导体市场的稳定需求和各领域客户的要求。
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