目前所有的高压灭菌器都要求工作时使用蒸馏水或纯水，因为蒸馏水具有纯净、无杂质、无离子，不会产生水垢等特性。如果高压灭菌器不使用蒸馏水，会对机器造成损伤。如细管路堵塞，干燥后在手机表面形成水垢、水斑，并沉积在高压灭菌器内的蒸汽传感器，温度传感器表面上，使传感器工作失常，影响高压灭菌器的正常使用，所以使用纯净的蒸馏水很重要。按照标准，高压灭菌器使用的纯净水的电导率不要超过15us/cm，但目前许多医院都是自己生产或外购蒸馏水，如生产过程控制不好，会使其中的水质有高有低，另外一个原因是部分高压灭菌器内部循环使用蒸馏水，这会造成水质持续下降.大约三年左右的时间，机器产生故障的概率*。
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