| 产地类别 |
国产 |
应用领域 |
环保,化工,能源,电子/电池,综合 |
pnp大型开闭盖装置321
G8(长2200mm x 宽2400mm) 液晶玻璃基板制造设备用开合盖装置，具有升降、滑动、翻转功能。
pnp大型开闭盖装置321
pnp大型开闭盖装置321
G8(长2200mm x 宽2400mm) 液晶玻璃基板制造设备用开合盖装置，具有升降、滑动、翻转功能。这是液晶检查设备的装载/卸载装置。存放在卡盒中的液晶基板，通过直角坐标系（X、Y、Z、Θ轴）的机械手控制，一张一张取出，基板对齐后，输送至光学系统检测（缺陷测量）装置。检查后，基板返回盒中。基板尺寸对应G3.5 (620mm x 750mm)。液晶面板用玻璃基板搬运夹具。
兼容基板尺寸 G7 (1870mm x 2200mm)。这是在半导体工厂中进行工序间搬运的中间搬入搬出装置。将 AGV 和 PGV 提供的 FOUP 盒装载到每个过程和中间储料器以及从 OHT 站取回的设备。
(1) 将水分含量控制在极小量（ppb 至 1 位数 ppm）的过程
? TK-100 电容式露点计（氧化铝型），可测量低露点 -100° C (
2) 极微量水分 (ppm) 由
? TE-660 露点仪（聚合物型）低露点为
-60
°C 的过程控制。（镜面型）露点仪
④ 过程和无尘室需要相对湿度水平控制的
? 简单的 EE060
⑤ 需要大量水分并需要控制恒定水分的过程
? 主要在高温和高湿度下测量 EE33 带防结露措施的温湿度计
氧气浓度测量
(1) 需要通过氢气置换
等去除氧气的工序? 2001LC 原电池式氧气浓度
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