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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

清洗設(shè)備

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)ASx 系列

品牌SUSS

廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商

所在地國(guó)外

更新時(shí)間:2025-06-06 08:33:18瀏覽次數(shù):441次

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SUSS MicroTecs ASx 系列為加工掩模和 250 nm 至 90 nm 技術(shù)節(jié)點(diǎn)提供了優(yōu)良的烘烤、顯影和清潔方法。其可靠性、穩(wěn)定性和高性能使平臺(tái)能夠滿足無(wú)損加工掩模的要求,用于 248 nm 和 193 nm 光刻工藝。

1.產(chǎn)品概述:

SUSS MicroTecs ASx 系列為加工掩模和 250 nm 至 90 nm 技術(shù)節(jié)點(diǎn)提供了優(yōu)良的烘烤、顯影和清潔方法。其可靠性、穩(wěn)定性和高性能使平臺(tái)能夠滿足無(wú)損加工掩模的要求,用于 248 nm 和 193 nm 光刻工藝。

2.產(chǎn)品工藝:

晶圓尺寸:4、6、8英寸

小片的用工具

符合 SEMI S2、S8、S13

CE認(rèn)證

符合歐洲標(biāo)準(zhǔn)和機(jī)械指令 2006/42/EC、EMC- 2004/108/EC 和低電壓指令 2006/95/EC

DIN ISO 14.644 2

SECS/GEM 200/300 mm 工廠自動(dòng)化標(biāo)準(zhǔn)接口

3.產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):

采用A+噴嘴在整個(gè)掩模上連續(xù)涂布介質(zhì),使顯影的沖擊力小化。

顯影劑主動(dòng)脫氣,可防止微氣泡的產(chǎn)生,實(shí)現(xiàn)低的缺陷計(jì)數(shù)。

PEB升為含APB的集群設(shè)備

高效的化學(xué)過(guò)濾(胺/酸)和精確的溫、濕度控制

SMIF裝/卸載的全自動(dòng)化

增強(qiáng)的工藝控制與監(jiān)測(cè)功能

與曝光后烘烤系統(tǒng)APB9500結(jié)合,獲得佳效果


6/8英寸全自動(dòng)槽式清洗機(jī)

GAMA系列6/8英寸全自動(dòng)槽式清洗機(jī)滿足全部濕法工藝需求,覆蓋RCA

12英寸槽式清洗設(shè)備

12英寸槽式清洗設(shè)備Pinnacle300平臺(tái)適用于集成電路、功率半導(dǎo)

全自動(dòng)硅料清洗機(jī)

主要用于對(duì)硅材料行業(yè)中多晶硅塊進(jìn)行清洗干燥處理

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