国产日产欧美精品-亚洲国产综合久久精品-色综合色国产热无码一-亚洲欧美日本国产,免费观看一区二区三区_在线观看片A免费不卡观看_亚洲а∨天堂久久精品_99久无码中文字幕一本久道

深圳市矢量科學儀器有限公司

當前位置:深圳市矢量科學儀器有限公司>>半導體前道工藝設備>>3 CVD>> Shale® C 系列8英寸電感耦合等離子體化學氣相沉積設備

8英寸電感耦合等離子體化學氣相沉積設備

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號Shale® C 系列

品牌魯汶

廠商性質經(jīng)銷商

所在地徐州市

更新時間:2025-06-05 21:33:51瀏覽次數(shù):318次

聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)
Shale® C系列電感耦合等離子體化學氣相沉積設備(ICP-CVD),通過電感耦合(ICP)產(chǎn)生高密度等離子體,并通過電容耦合(CCP)產(chǎn)生偏壓,可實現(xiàn)低溫、高致密、低損傷、優(yōu)填充能力的薄膜沉積工藝。該設備采用了8英寸產(chǎn)線設備所通用的國際標準零部件,符合SEMI的設計標準,并通過了嚴苛的穩(wěn)定性和可靠性測試驗證。

1. 產(chǎn)品概述

Shale® C系列電感耦合等離子體化學氣相沉積設備(ICP-CVD)是一款先進的薄膜沉積設備,它結合了電感耦合(ICP)和電容耦合(CCP)技術,為用戶提供了一種高效、可靠的薄膜沉積解決方案。

該設備通過高密度等離子體的產(chǎn)生,實現(xiàn)了極低的沉積溫度,這不僅能夠保護基材,減少熱損傷,還能確保薄膜的高致密性與優(yōu)異的填充能力。該工藝適用于多種材料的沉積,尤其是在對薄膜質量有高要求的應用中表現(xiàn)。

此外,Shale® C系列設備采用了符合國際標準的零部件,這些組件是8英寸產(chǎn)線設備中的常用標準部件,確保了設備的兼容性與可維護性。設備的設計遵循SEMI的嚴格標準,確保其在半導體行業(yè)中的穩(wěn)定運行及高度可靠。

在產(chǎn)品性能方面,Shale® C系列經(jīng)過了一系列嚴格的穩(wěn)定性和可靠性測試,驗證了其在長時間連續(xù)運行下的表現(xiàn)。這使得該設備成為制造過程中的理想選擇,適合用于大規(guī)模生產(chǎn)和研發(fā)實驗。

2. 系統(tǒng)特性

可在低溫(<120°C)下沉積高致密薄膜,其致密性不亞于LPCVD在750°C生長的薄膜

可有效降低等離子體損傷,從而降低漏電,漏電流密度與原子層沉積(ALD)制備的薄膜相當

可提供高深寬比薄膜填充工藝

可選8/6英寸電,適用于不同尺寸的晶圓




部件鍍膜設備

部件鍍膜設備實現(xiàn)高大量生產(chǎn)率的高真空基礎In-line Sputter

薄膜沉積鍍膜系統(tǒng)

薄膜沉積鍍膜系統(tǒng)Automotive Lamp Reflector是為

原子層沉積ALD

Kurt J. Lesker Company (KJLC) ALD15

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標簽最多10個字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復您~

以上信息由企業(yè)自行提供,信息內(nèi)容的真實性、準確性和合法性由相關企業(yè)負責,化工儀器網(wǎng)對此不承擔任何保證責任。

溫馨提示:為規(guī)避購買風險,建議您在購買產(chǎn)品前務必確認供應商資質及產(chǎn)品質量。

撥打電話
在線留言
枞阳县| 浑源县| 宾川县| 江川县| 长宁县| 夹江县| 镇巴县| 平谷区| 平罗县| 保靖县| 周至县| 项城市| 萨嘎县| 江陵县| 永年县| 邵东县| 拜城县| 门头沟区| 都昌县| 镇远县| 桂林市| 固原市| 永川市| 彭阳县| 高雄市| 个旧市| 封开县| 城步| 灌云县| 甘谷县| 松江区| 永昌县| 泾阳县| 广宗县| 辽阳市| 兰考县| 兴文县| 张家界市| 剑阁县| 商丘市| 江永县|