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當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備>>5 刻蝕設(shè)備>> KS-S300-E單片濕法刻蝕機(jī)
| 參 考 價(jià): | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)KS-S300-E
品牌芯源
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地沈陽(yáng)市
更新時(shí)間：2025-06-05 20:25:30瀏覽次數(shù)：468次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 化工儀器網(wǎng)1. 產(chǎn)品概述
滿足半導(dǎo)體制造中濕法刻蝕工藝，單片加工，適用于SiO2，SiN，Polysilicon和各種金屬層的刻蝕，清洗等工藝流程。
2. 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
利用位置、速度可控的擺臂噴灑化學(xué)液，可以有效的提高刻蝕均勻性
分層式反應(yīng)腔體設(shè)計(jì)，可以在同一腔體中噴灑多種化學(xué)液，并能有效回收，節(jié)約化學(xué)液
疊層控制，占地面積小，多可配置4個(gè)刻蝕單元
3. 應(yīng)用域：
半導(dǎo)體制造中濕法刻蝕工藝
封裝域中金屬層刻蝕，滿足UBM及RDL工藝要求
OLED 域中金屬及金屬氧化物（ITO/IGZO）刻蝕、緩沖層成膜的表面（SiO2）刻蝕清洗等工藝
滿足半導(dǎo)體制造中濕法刻蝕工藝，單片加工，適用于SiO2，SiN，Polysilicon和各種金屬層的刻蝕，清洗等工藝流程。
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