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當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備>>1 光刻設(shè)備>> KS-S150-6ST去膠機(jī)
| 參 考 價(jià): | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)KS-S150-6ST
品牌芯源
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地沈陽(yáng)市
更新時(shí)間：2025-06-05 20:23:35瀏覽次數(shù)：411次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 化工儀器網(wǎng)1. 產(chǎn)品概述
用于封裝域中的光阻去除工藝，掩膜版清洗，OLED 域中的光阻去除及蒸鍍后金屬剝離等工藝及化合物半導(dǎo)體域中的光阻去除及蒸鍍后金屬剝離等工藝。
2. 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
1.自主IP的雙真空雙夾持四手高速機(jī)械手，產(chǎn)能高，干濕分離無交叉污染
2. 具有AWC高效圖像對(duì)中功能
3.采用可多片兼容不同尺寸、不同角度的浸泡系統(tǒng)
4.閉環(huán)控制高壓管路系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)目標(biāo)值±0.2MPa的控壓精度
5.自主IP的耐高壓在線式加熱器，可達(dá)到國(guó)際加熱器同等控溫
6. 工藝單元采用主動(dòng)夾持Chuck，可避免晶背劃傷及晶圓側(cè)翻
7.去膠液可自動(dòng)回收，循環(huán)使用
3. 應(yīng)用域：
封裝
OLED 域
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