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深圳市矢量科学仪器有限公司

当前位置:深圳市矢量科学仪器有限公司>>半导体前道工艺设备>>1 光刻设备>> KS-S300-SP12寸喷雾式涂胶机

12寸喷雾式涂胶机

参  考  价:面议
具体成交价以合同协议为准

产品型号KS-S300-SP

品牌芯源

厂商性质经销商

所在地沈阳市

更新时间:2025-06-05 20:09:27浏览次数:495次

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KS-S300全自动喷雾式涂胶机通过超声波将光阻雾化为微小颗粒,适用于在大深宽比的图形表面以高分辨率均匀地涂敷光刻胶,可以有效覆盖沟槽的侧壁和边缘,避免沟槽堆积,节省光刻胶;同时针对轻薄易碎的衬底,承片台静态喷雾式涂胶可以避免衬底在高速旋转时碎裂的风险。产品可应用于封装、微机电系统制造等领域。该产品已通过SEMI S2认证。

1. 产品概述

KS-S300全自动喷雾式涂胶机是一款创新型设备,通过超声波技术将光刻胶雾化为微小颗粒,能够在较大深宽比的图形表面上以高分辨率均匀涂敷光刻胶。此技术的应用显著增强了涂胶效果,使得光刻胶能够有效覆盖沟槽的侧壁和边缘,从而避免了在传统涂胶方式中常见的沟槽内堆积现象。这种精确涂布不仅有助于提高成品的质量,也能显著节省光刻胶的使用量,降低材料成本。

针对轻薄易碎的衬底,KS-S300特别设计了静态喷雾式涂胶系统。通过在涂胶过程中避免高速旋转,这种设计有效降低了衬底破裂的风险,从而?;ち烁呒壑档牟牧?,确保生产过程的安全性和可靠性。

KS-S300的应用领域十分广泛,包括半导体封装、微机电系统制造(MEMS)及其他高科技领域。它不仅提升了工作效率,降低了材料浪费,还在精度和一致性方面满足了严格的工业标准。此外,该设备已顺利通过SEMI S2认证,进一步证明了其在安全性和质量控制方面的可靠性。

2. 产品优势:

旋流式锥形雾化可均匀覆盖高深宽比台阶的边缘和底部

旋转加热式承片台有效节省光刻胶
承片台静态喷涂规避轻薄衬底碎片风险
喷嘴具备内外自动清洗功能

3. 应用域:

封装
OLED域
MEMS


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