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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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高真空有機(jī)及熱阻蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)DZ350

品牌沈陽(yáng)科儀

廠(chǎng)商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商

所在地沈陽(yáng)市

更新時(shí)間:2025-06-05 18:25:49瀏覽次數(shù):437次

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產(chǎn)品概述:
高真空有機(jī)及熱阻蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)主要由有機(jī)/金屬源蒸發(fā)沉積室、真空排氣系統(tǒng);真空測(cè)量系統(tǒng);蒸發(fā)源;樣品加熱控溫;電控系統(tǒng);配氣系統(tǒng)等部分組成。
設(shè)備用途:
熱蒸發(fā)是指把待鍍膜的基片或工件置于真空室內(nèi),通過(guò)對(duì)鍍膜材料加熱使其蒸發(fā)氣化而沉積于基體或工件表面并形成薄膜或涂層的工藝過(guò)程。可在高真空下蒸發(fā)高質(zhì)量的不同厚度的金屬薄膜,廣泛應(yīng)用于物理,生物,化學(xué),材料,電子等領(lǐng)域。

1.產(chǎn)品概述:

該設(shè)備主要由有機(jī)/金屬源蒸發(fā)沉積室、真空排氣系統(tǒng);真空測(cè)量系統(tǒng);蒸發(fā)源;樣品加熱控溫;電控系統(tǒng);配氣系統(tǒng)等部分組成。

2.產(chǎn)品應(yīng)用:

在實(shí)際應(yīng)用中,這種系統(tǒng)常用于半導(dǎo)體、光電子、有機(jī)電子等域,用于制備各種有機(jī)薄膜、金屬薄膜或復(fù)合薄膜,以滿(mǎn)足不同器件和材料的研究與開(kāi)發(fā)需求。

3.真空室:

沈陽(yáng)科學(xué)儀器的高真空有機(jī)及熱阻蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng) DZ350的詳細(xì)介紹可能因具體型號(hào)和配置而有所不同

真空室結(jié)構(gòu):U形開(kāi)門(mén)

真空室尺寸:φ350×400mm

限真空度:≤6.6E-5Pa

沉積源:2個(gè)鎢舟、2個(gè)有機(jī)源

樣品尺寸,溫度:50mmx50mm,1片,高300℃

占地面積(長(zhǎng)x寬x高):約2.5米×1.2米×1.8米

電控描述:采用先進(jìn)的控制系統(tǒng),方便用戶(hù)設(shè)置和調(diào)整工藝參數(shù),如蒸發(fā)溫度、沉積時(shí)間等。

手動(dòng):樣品臺(tái):擁有可旋轉(zhuǎn)或可移動(dòng)的樣品臺(tái),以便均勻沉積薄膜。

工藝:不含工藝





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