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深圳市矢量科学仪器有限公司

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等离子增强化学气相沉积

参  考  价:面议
具体成交价以合同协议为准

产品型号PlasmaPro 100 Nano

品牌OXFORD/英国牛津

厂商性质经销商

所在地深圳市

更新时间：2025-06-05 17:20:43浏览次数：322次

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PlasmaPro 100 Nano
用于生长1D / 2D纳米材料和异质结构的CVD / PECVD工具。 PlasmaPro 100 Nano通过在线催化剂活化和严格的工艺控制，实现纳米材料的高性能生长。

  • 更佳的均匀性以及灵活的温度范围， 最高可达1200°C

  • 700°C、800°C或1200°C工作台可供选择

  • 样品尺寸可达200mm

  • 真空传送腔——快速更换样品

  • 冷壁设计并辅以可均匀输送气体/液体源前驱体的喷头

  • 可选的液体/固体源前驱体输送系统，用于生长MOS2、MOSe2和其它TMDCs材料

应用：

  • 二维材料 生长

  • MoS2 生长

  • 石墨烯 生长

  • 一维材料 生长

  • 碳纳米管（CNT）生长

  • 气柜 —— 包含额外的气体管线，提供更大的灵活性

  • 涡轮分子真空泵 —— 提供泵送速度加快气体的流动速度

  • 光学终点探测—— 实现更好工艺结果的重要工具

  • TEOS液位传感 —— 使用安装在TEOS罐上的超声波液位传感器实现液位传感




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