1. 產(chǎn)品概述
ACA無掩膜光刻機系列是科研版的無掩膜版紫外光刻機，其基于空間光調(diào)制技術，實現(xiàn)了數(shù)字掩膜光刻，靈活性使其成為科學研究。設備搭載長壽命、高功率的紫外光源，設備穩(wěn)定，上手簡單。其的原位光繪和交互式套刻指引功能，讓光刻和套刻更加容易和精準。ACA系列設備為科研工作提供了強大的支持，助力科學研究域的發(fā)展和創(chuàng)新。
2. 特色參數(shù)
特征尺寸0.8μm
6英寸光刻面積
高精度步進光刻
無掩膜光刻機
3. 應用案例
微流道芯片
二維材料電
光學掩膜版
MEMS器件
灰度光刻
4. 公司簡介：
托托科技（蘇州）有限公司是一家注于顯微光學加工和顯微光學檢測域的公司，在基于數(shù)字微鏡器件的無掩膜光刻技術域中進行了數(shù)年的深入研究和技術積累，其研制和生產(chǎn)的無掩膜紫外光刻機一經(jīng)問世，就受到了諸多客戶的青睞，在科研和工業(yè)域都有廣泛的應用。例如，在微納加工域，可以用于制作MEMS器件、微流控芯片、微型傳感器等；在光電子域，可以用于制作光柵、衍射光學元件等。
托托科技致力于設備底層技術的研究和積累，不斷尋求技術的突破，努力為客戶帶來更好的設備和更好的使用體驗，幫助客戶創(chuàng)造更高的價值。
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