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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

芯片刻蝕機(jī)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)ELEDE® 380系列

品牌北方華創(chuàng)

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地北京市

更新時(shí)間:2025-06-05 13:09:50瀏覽次數(shù):719次

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ELEDE® 380系列 芯片刻蝕機(jī),優(yōu)良的等離子體發(fā)生裝置,適用多種材料刻蝕,工藝窗口寬。

1. 產(chǎn)品概述

ELEDE® 380系列 芯片刻蝕機(jī),優(yōu)良的等離子體發(fā)生裝置,適用多種材料刻蝕,工藝窗口寬。

2. 設(shè)備用途/原理

優(yōu)良的等離子體發(fā)生裝置,適用多種材料刻蝕,工藝窗口寬。多片式托盤,實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)能,同時(shí)確保優(yōu)異的刻蝕均勻性。全路徑全真空,全自動(dòng)晶圓傳輸,顆粒控制優(yōu)。工藝套件設(shè)計(jì),更長的耗材壽命。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶圓尺寸4、6 英寸及特殊尺寸適用材料  藍(lán)寶石、氮化鎵、氧化硅 / 氧化鈦、砷化鎵、磷化鎵、鋁鎵銦磷、氧化硅、氮化硅、鈦鎢、有機(jī)物。適用工藝 PSS 刻蝕、電刻蝕、深槽隔離刻蝕、介質(zhì)反射層(DBR)刻蝕、紅黃光刻蝕、鈍化層刻蝕、金屬阻擋層刻蝕。適用域化合物半導(dǎo)體。

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