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當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>其他前道工藝設(shè)備>>8 氧化設(shè)備、退火設(shè)備>> Sitara TA230A12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)
| 參 考 價(jià): | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)Sitara TA230A
品牌北方華創(chuàng)
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地北京市
更新時(shí)間：2025-06-05 12:19:54瀏覽次數(shù)：504次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 化工儀器網(wǎng)1. 產(chǎn)品概述
Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)，適用于 260-1200℃快速熱處理工藝。
2. 設(shè)備用途/原理
Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)，適用于 260-1200℃快速熱處理工藝，高精度溫度控制，提供優(yōu)異工藝，低成本，高產(chǎn)能。
3. 設(shè)備特點(diǎn)
晶圓尺寸 12 英寸，適用工藝 快速熱退火、快速熱氧化、金屬硅化。適用域 科研、集成電路。此外，12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)的應(yīng)用還涉及到泛半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)線、中試線、生產(chǎn)線裝備及工藝和廠務(wù)技術(shù)服務(wù)等領(lǐng)域，展示了其在半導(dǎo)體制造中的重要角色。這種系統(tǒng)的發(fā)展和應(yīng)用，對(duì)于推動(dòng)半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步和促進(jìn)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有重要意義。?
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LSA 201 環(huán)境控制激光尖峰退火設(shè)備
Veeco 的 LSA201 激光尖峰退火 （LSA） 系統(tǒng)具有與 L |
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