您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費(fèi)注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備>>3 CVD>> Satur系列多片式MOCVD系統(tǒng)
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品型號Satur系列
品牌北方華創(chuàng)
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地北京市
更新時間：2025-06-05 12:13:24瀏覽次數(shù)：620次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)1. 產(chǎn)品概述
Satur系列 多片式MOCVD系統(tǒng)，優(yōu)異的均勻性、一致性、穩(wěn)定性控制，MOCVD 即金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積，是一種用于生長化合物半導(dǎo)體薄膜的技術(shù)。它通過將Ⅲ族元素的有機(jī)化合物和氨氣或氧氣等作為晶體生長源材料，以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進(jìn)行氣相外延，生長各種化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。
2. 設(shè)備用途/原理
Satur系列 多片式MOCVD系統(tǒng)，優(yōu)異的均勻性、一致性、穩(wěn)定性控制，盒對盒全自動傳輸系統(tǒng)，優(yōu)良的實(shí)時監(jiān)控系統(tǒng)，友好界面與配方編輯功能，滿足 SEMI S2 安全標(biāo)準(zhǔn)。
3. 設(shè)備特點(diǎn)
晶圓尺寸 4、6、8 英寸，沉積材料 氮化鎵、砷化鎵、磷化銦。適用材料 硅、碳化硅、氧化鋁、砷化鎵、磷化銦。適用領(lǐng)域 科研、集成電路、化合物半導(dǎo)體。
 |
 |
 |
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗(yàn)證碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，化工儀器網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
| 評價時間 | 類別 | 詳細(xì)內(nèi)容 | 評價者 | IP地址 |
化工儀器網(wǎng)