1. 產(chǎn)品介紹

磁控濺射鍍膜機Sputter

2. 應(yīng)用領(lǐng)域

巨磁電阻（GMR）、組合材料科學（CMS）、半導(dǎo)體、超導(dǎo)體、納米級器件、光子學、光伏（PV）、OLED（發(fā)光二極管）、有機薄膜。

3. 技術(shù)參數(shù)

最大樣品尺寸：8英寸

濺射源：強磁靶、永磁靶，數(shù)量根據(jù)用戶定制

電源：直流電源、射頻電壓

真空系統(tǒng)：超高真空                              

樣品臺加熱：最高至1100℃

控制系統(tǒng)：全自動控制                            

進樣室：根據(jù)用戶需求定制                      

4. 企業(yè)簡介

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司已授實用新型權(quán)利 29 項，軟件著作權(quán) 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。