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德國(guó)Diener 等離子蝕刻機(jī)Tetra 8 RIE
用途：
表面清洗活化
表面蝕刻
Tetra 8 RIE 產(chǎn)品特點(diǎn)：
適用于8"以下樣品的處理
等離子蝕刻機(jī)，可實(shí)現(xiàn)快速且一致的樣品表面刻蝕
全局的工藝氣體通過(guò)氣浴進(jìn)氣實(shí)現(xiàn)了均勻的氣體分布
電極水冷確保了樣品的溫度不會(huì)偏高
工業(yè)Windows控制系統(tǒng)，多段程序控制功能，實(shí)現(xiàn)一鍵蝕刻功能
適合于研究院、高校、研發(fā)中心等使用，也可小批量生產(chǎn)
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