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深圳市科時(shí)達(dá)電子科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第2年

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德國(guó)Diener Bell Jar 35 研究型等離子清洗機(jī) 不銹鋼研究設(shè)備

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

更新時(shí)間:2023-09-16 15:08:42瀏覽次數(shù):212次

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德國(guó)Diener Bell Jar 35 研究型等離子清洗機(jī)基本設(shè)備:。外殼約寬560MMx高1640MMx深620mm。腔室容積:約35升。供電電源:230V/16A氣源:。3個(gè)質(zhì)量流量控制器(MFCs)控制系統(tǒng):。

德國(guó)Diener Bell Jar 35 研究型等離子清洗機(jī)



基本設(shè)備:

。外殼約寬560MMx高1640MMx深620mm

。腔室容積:約35升

。供電電源:230V/16A



氣源:

。3個(gè)質(zhì)量流量控制器(MFCs)



控制系統(tǒng):

。PCCE控制系統(tǒng)(Microsoft Windows XPe)





發(fā)生器:

。頻率:40KHz, 功率 0-500W

13.56MHz, 功率 0-300W

。直流偏置電源或單極性脈沖,功率300W,電壓600V,直流電

。發(fā)生器為 0-99% 無級(jí)可調(diào)型


真空腔室:

。硼硅玻璃材質(zhì)的玻璃罩,直徑315MMx高500MM



真空泵:

。規(guī)格和制造商均各有不同(按照活性炭過濾器的需要)



濺射源:

。1個(gè)濺射源2"-3"+擋板(可為反應(yīng)過程選配排煙管和進(jìn)氣口)



基材支架:

。直徑140MM(可選擇旋轉(zhuǎn)型,基材加熱器,基材冷卻裝置)

??汕袚Q為等離子預(yù)處現(xiàn)的電極(清洗,活化,蝕刻)





壓力測(cè)量:

。Pirani



其它選項(xiàng):

備件套件,壓力計(jì),腐蝕性氣體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu),氣瓶,減壓器,加熱板,溫度顯示器,加熱型腔室,F(xiàn)araday Box, 等離子體聚合配件,試墨水,氧氣發(fā)生器,慢速通風(fēng)裝置,慢速抽吸裝置,TEM樣品架法蘭,維護(hù)/服務(wù),當(dāng)?shù)卣Z言的文件,現(xiàn)場(chǎng)安裝,包括培訓(xùn),可應(yīng)需求提供的其它選項(xiàng)。

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