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| 产地类别 | 进口 | 产品种类 | 接触式轮廓仪/粗糙度仪 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 5万-10万 | 应用领域 | 综合 |
布鲁克Dektak 150表面轮廓仪多功能台阶仪
品牌：VEECO
产地：德国
产品型号：Dektak 150
规格：
测试技术：探针轮廓技术
测试功能：二维表面轮廓测试
样品视?。?40*480像素，USB；17 inc 平板显示器
探针传感器：低惯量传感器（LIS 3）
探针压力：使用LIS 3传感器：1*15 mg
使用N-lite传感器：0.03*15 mg
探针选项：探针曲率半径可选范围：50 nm*25 um;
*径比针尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um
样品载物台：手动X/Y/@：100*100 mm, 360度旋转，可手动校平；
可选Y自动移动载物台，100 mm行程，1um重现性，0.5 um分辨率；
可选X-Y自动移动载物台，150 mm行程；
1um重现率，0.5 um 分辨率
计算机系统：主机使用celeron或者semprom处理器
软件：Dektak软件
台阶检测软件
可选应力测量软件
可选三维Vision分析软件
可选缝合软件
减震装置：可选桌式震动隔离装置
可选台式震动隔离装置
性能
扫描长度范围 55mm(2.1英寸)
每次扫描数据点*多12万数据点
*大样品厚度*达90 mm (4英寸)，取决于配置
*大晶圆尺寸 150 mm(6英寸)
台阶*度重现性 6埃
垂直范围：标准524um(0.02英寸)；可选1mm
垂直分辨率：*大1A（6.55um垂直范围下）
尺寸：292 mm *508 mm*527 mm
重量：34 kg
电源要求：
输入电压： 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ
无论是用于科学研究还是工业生产，Dektak 150探针式表面轮廓仪都具有业内*好的表现性能，**的测量重复性以及*大的扫描范围。Dektak 150集四十多年的技术积累和创新于*身，为满足用户不同应用方向的需要提供了多种可选配置。坚固的铝质材料铸成的机身框架以及支撑部件显著提*了仪器的重复*度，并降低了地板噪音对测量的干扰?；赪indows?XP的软件用户界面，使用户迅速掌握Dektak 150。分析功能齐全，界面直观，包括从简便的*键"进针即测量"，到多次扫描结果的自动分析。通过选配三维成像附件套装还可以极大地扩充仪器的功能。
布鲁克Dektak 150表面轮廓仪多功能台阶仪
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