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| 产地类别 | 国产 | 产品种类 | 电动 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 面议 | 应用领域 | 综合 |
FMS165Z-H系列超高性能平移台
l行程覆盖150mm、200mm、250mm与300mm
l最小步进距离可达50纳米
l高达5纳米分辨率的光栅尺编码器
l静音位移台
l拖链内置，方便线束管理
l免费标准版SDK
l高性能控制器
l可选配EtherCAT总线控制
产品简介
FMS165Z-H系列超高性能平移台：电动运动平台同时具有高精度特性、高速能力、超低速运行能力、高稳定特性是非常困难的。2022年，我们专门为复杂科研应用开发了旗舰系列产品FMS165Z- H超高性能平移台。FMS165Z-H解决了超低速运行稳定性难题，采?超高分辨率光栅尺配合超高精度装配工艺，使该系列平移台有优秀的超低速运行能力并达到亚μm级重复定位精度。FMS165Z-H采用内置拖链，方便线束管理，结合我们高性能版本的FMC04-H系列控制器，能较好呈现高性能版本控制器的所有高级功能，运行速度最高可达1m/s。
产品应用
l工业
l飞秒加工
l半导体
l显微扫描
l光纤延迟线
l激光切割机
l激光焊接机
l医疗
l仪器设备制造
性能实测
接线定义
电机接?
反馈接?
产品图纸
FMS165Z-150H
FMS165Z-200H
FMS165Z-250H
FMS165Z-300H
产品参数
Model | FMS165Z-150H | FMS165Z-200H | FMS165Z-250H | FMS165Z-300H |
?程(mm) | 150 | 200 | 250 | 300 |
负载(Kg) | 40 | 20 | 40 | 20 |
分辨率(μm) | 0.02 | 0.02 | 0.02 | 0.02 |
最?步进量(μm) | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
单向重复定位精度/保证值(μm) | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 |
单向重复定位精度/典型值(μm) | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 |
双向重复定位精度/保证值(μm) | ±0.3 | ±0.3 | ±0.3 | ±0.3 |
双向重复定位精度/典型值(μm) | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 |
定位精度/保证值(μm) | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 |
定位精度/典型值(μm) | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
最?速度(mm/s) | 500 | 500 | 500 | 500 |
直线度(μm) | 5 | 5 | 5 | 5 |
平整度(μm) | 5 | 5 | 5 | 5 |
偏摆(arcsec) | 15 | 15 | 15 | 15 |
俯仰(arcsec) | 15 | 15 | 15 | 15 |
持续推?(N) | 58 | 29 | 58 | 29 |
峰值推?(N) | 200 | 100 | 200 | 100 |
重量(kg) | 13.5 | 13 | 18 | 17.5 |
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